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光刻胶无氧晶圆烘箱

光刻胶无氧晶圆烘箱

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一.概述:
无氧烤箱晶圆封装无氧箱,无氧化烘箱,在工作时,工作室内充满了惰性气体CO2,N2,防止材料在烘烤时被氧化。无氧化烘箱在工业中的用途:IC包装,LCD,晶体管,传感器,二极管,石英晶体振荡器,混合集成电路板……


二.产品技术参数
1.名称及型号:双工作腔无氧烤箱  AO-2DSL FCNET(支持 ONET-240 网络联机功能)
2、主要技术指标:
2.1工作尺寸:W1000*D500*H610*2 mm
2.2电源:380V 3φ 50HZ 18KVA
2.3含氧量控制要<= 100PPM。
2.4温度范围: RT(室温)+60~ +300℃;
2.5温度均匀度:±1.5%;
2.6升温速率:室温~250℃,45分钟(空箱测试)。(客户工艺高温度300℃)
2.7风冷降温:100 分钟内降温可从250℃达到 70℃


3、箱体结构:
3.1烘箱由箱体部分、电器控制柜部分、电加热及风道系统部分组装而成,结构合理,外观美观大方;
3.2全周氩焊,耐高温硅胶迫紧,SUS304#不锈钢电热产生器,防机台本身产生微尘;
3.3箱体材料:外箱采用 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘;
3.4内胆材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘 烤时产生 PARTICLE;
3.5中桶材料:采用进口SUS304#日制800番2mm厚之镜面不锈钢板,并经碱性苏打水清洁,去油污及氩焊 密封加工(防污染)。
3.6保温材料:硅酸铝棉;
3.7夹层降温:夹层风冷降温


4、温控系统
4.1控制器采用二合一PLC触摸屏控制两个腔体独立运行,随时切换。
4.2温度测量:采用特制锴装铂电阻;
4.3氮气控制系统:有双流量计的智能控制氮气系统。
5、完善的安全保护措施:漏电断路器//超温保护//欠相保护//马达过载电流保护//机台异常蜂鸣器警示

光刻胶无氧晶圆烘箱

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